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光刻設(shè)備和方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):2698852

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一種光刻設(shè)備,包括構(gòu)造成支撐圖案形成裝置的支撐結(jié)構(gòu),所述圖案形成裝置能夠?qū)D案在EUV輻射束的橫截面上賦予EUV輻射束以形成圖案化的EUV輻射束;和投影系統(tǒng),配置成將圖案化的EUV輻射束投影到襯底的目標(biāo)部分上,其中支撐結(jié)構(gòu)設(shè)置有光柵,所述光柵包括一系列第一反射部分和第二反射部分,該一系列第一反射部分與該一系列第二反射部分交替,第二反射部分的反射率小于第一反射部分的至少一部分的反射率并且大于零。專(zhuān)利說(shuō)明[0001]相關(guān)申請(qǐng)的交叉引用[0002]本申請(qǐng)要求于2...
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