技術(shù)編號(hào):2697951
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶(hù)請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種用于半導(dǎo)體光刻的投射曝光設(shè)備的光學(xué)元件,包括光學(xué)作用表面(9)和用于冷卻光學(xué)元件的至少一個(gè)冷卻部件,其中,所述冷卻部件連接到至少兩個(gè)分離的冷卻回路,并實(shí)施為使得所述光學(xué)作用表面(9)可以在至少一個(gè)部分區(qū)域中比在另一部分區(qū)域中以更大的程度被冷卻。本發(fā)明還涉及一種包括根據(jù)本發(fā)明的光學(xué)元件的投射曝光設(shè)備。專(zhuān)利說(shuō)明光學(xué)元件[0001]本發(fā)明涉及具有至少一個(gè)光學(xué)作用表面(optically active surface)的光學(xué)元件。在該情況下,該光學(xué)元...
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