技術(shù)編號(hào):2697547
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶(hù)請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種,使板狀體保持部件和研磨工具相對(duì)靠近,從而通過(guò)上述研磨工具研磨由上述板狀體保持部件所保持的上述板狀體,其中,上述板狀體保持部件保持板狀體的非研磨面,并且進(jìn)行公轉(zhuǎn)及自轉(zhuǎn)的某一個(gè)動(dòng)作,上述研磨工具在對(duì)上述板狀體的研磨面進(jìn)行研磨的面上具有沿著一個(gè)方向的多個(gè)槽,并且該研磨工具進(jìn)行公轉(zhuǎn)及自轉(zhuǎn)的另一個(gè)動(dòng)作,在所述中,獨(dú)立控制上述板狀體保持部件及上述研磨工具的上述公轉(zhuǎn)動(dòng)作及上述自轉(zhuǎn)動(dòng)作,在上述板狀體的研磨過(guò)程中,變更上述自轉(zhuǎn)的角速度。專(zhuān)利說(shuō)明[0001]本...
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