技術編號：2697412
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明公開了一種硅片推頂機構，包括基座、驅動機構、導向機構、連接板以及推頂銷，所述驅動機構固定于所述基座上，所述推頂銷和導向機構固定在所述連接板上，并且，所述硅推頂機構還包括柔性吸盤，所述柔性吸盤設置于所述推頂銷的頂部并與所述推頂銷相連，所述柔性吸盤的內側連接高度低于所述推頂銷的頂面高度。本發(fā)明在推頂銷的頂部增設了柔性吸盤，柔性吸盤相對于現有技術中采用的非金屬材料剛性較為柔軟，能夠緊密貼合翹曲片和超薄片，使真空不泄露，保證了硅片的有效吸附。專利說明硅片推頂...
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