技術編號：2697193
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明公開一種，其特征在于，包括步驟一對被測基底進行全局調(diào)焦調(diào)平，使基底上各個測量場均包含在調(diào)焦調(diào)平傳感器測量范圍之內(nèi)；步驟二沿步進方向進行第一次掃描，獲取該各個測量場及各個測量點的第一調(diào)焦調(diào)平數(shù)據(jù)；步驟三按一定角度旋轉該被測基底后進行第二次掃描，獲取該各個測量場及各個測量點的第二調(diào)焦調(diào)平數(shù)據(jù)；步驟四對步驟三及步驟四中獲取的數(shù)據(jù)進行求和平均后獲得該各個測量點的Z向偏移距離，并根據(jù)該Z向偏移距離計算出各個測量場當前位置與調(diào)焦調(diào)平傳感器本身零平面的Rx，Ry，...
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