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曝光機光罩結(jié)構(gòu)的水平角度調(diào)整機構(gòu)及方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:2697004

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一種,其可調(diào)整光罩結(jié)構(gòu)的水平角度,本發(fā)明利用至少三個水平向驅(qū)動部、至少三個水平向驅(qū)動源、至少三個垂直向被動部及至少三個萬向接頭,其中,水平向驅(qū)動部水平活動設(shè)置于曝光機且具有第一斜面連接單元,垂直向被動部垂直活動設(shè)置于曝光機且具有第二斜面連接單元以與第一斜面連接單元面對面活動連接,萬向接頭以一側(cè)連接垂直向被動部,以另一側(cè)連接光罩結(jié)構(gòu),水平向驅(qū)動源驅(qū)動水平向驅(qū)動部。因此,本發(fā)明可調(diào)整光罩結(jié)構(gòu)的水平角度以使光罩與對應(yīng)物平行。專利說明[0001]本發(fā)明涉及一種,尤...
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