技術(shù)編號(hào)：2696734
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒(méi)有賬戶(hù)請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明提供了一種聚合物材料，該聚合物材料包含有SU8和表面活性劑。SU8為疏水性材料，因此在鍵合的時(shí)候需要先加熱至130度以上使其回流，配合一定的壓強(qiáng)，使兩個(gè)硅片（玻璃片）完成鍵合。通過(guò)在SU8內(nèi)添加少量的表面活性劑，將SU8改為親水性的材料，這樣SU8的表面粘性就非常好，通過(guò)光刻固化使得SU8在高溫下仍然有很小量的回流，配合一定的壓強(qiáng)，即可完成鍵合，而且鍵合壓強(qiáng)低。本發(fā)明還公開(kāi)了所述聚合物材料在鍵合中的應(yīng)用。專(zhuān)利說(shuō)明聚合物材料及其應(yīng)用[0001]本發(fā)明屬...
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