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耐熱性樹脂前體及使用其的感光性樹脂組合物的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:2695373

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本發(fā)明涉及為了形成電子部件、顯示元件的絕緣材料、以及被用在半導(dǎo)體裝置中 的鈍化膜、緩沖涂膜及層間絕緣膜等中的耐熱性樹脂材料的浮雕圖案而使用的堿可溶性樹 脂,及含有該堿可溶性樹脂的正型或負(fù)型感光性樹脂組合物。背景技術(shù)眾所周知,半導(dǎo)體裝置的表面保護(hù)膜或?qū)娱g絕緣膜的用途中,兼具優(yōu)異的耐熱性、 電特性和機(jī)械特性的聚酰亞胺樹脂是合適的。在這些用途中使用的聚酰亞胺樹脂通常以感 光性聚酰亞胺前體組合物的形式被提供,通過將其涂布到硅晶片(silicon wafer)等基板...
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