技術(shù)編號：2695353
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及作為用作半導(dǎo)體裝置的表面保護(hù)膜或?qū)娱g絕緣膜的耐熱性樹脂的前 體的正型感光性樹脂組合物、使用該正型感光性樹脂組合物的具有耐熱性的固化浮雕圖案 的制造方法、及具有該固化浮雕圖案而成的半導(dǎo)體裝置。背景技術(shù)半導(dǎo)體裝置的表面保護(hù)膜及層間絕緣膜中廣泛使用兼具優(yōu)異的耐熱性、電特性及 機(jī)械特性等的聚酰亞胺樹脂。該聚酰亞胺樹脂現(xiàn)在通常多以感光性聚酰亞胺前體組合物的 形式供給。在制造半導(dǎo)體裝置的過程中，將該前體組合物涂布到硅晶片等基板上，利用活性 光線進(jìn)行圖案化，顯...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。