技術(shù)編號(hào)：2692067
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種包括兩個(gè)用于將通過旋轉(zhuǎn)多角鏡掃描的光束成像在像平面上的反射鏡的光束掃描裝置。背景技術(shù) 在將透鏡用于曝光裝置的偏轉(zhuǎn)后光學(xué)系統(tǒng)的掃描光學(xué)系統(tǒng)中，在防止光束位置和成像位置隨波長(zhǎng)的變化而偏移的色差消除方面存在著設(shè)計(jì)缺陷。這是因?yàn)橥哥R材料的折射率隨波長(zhǎng)而變。相反，反射鏡的優(yōu)點(diǎn)在于其對(duì)波長(zhǎng)的依賴性不強(qiáng)，因此已做出的很多發(fā)明都在掃描光學(xué)系統(tǒng)中使用了反射鏡。例如，日本專利申請(qǐng)公開(JP-A)第2001-56445號(hào)中描述的激光掃描裝置。在該激光掃描裝置中，如...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。