技術(shù)編號：2690886
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本申請涉及涂布基片表面的裝置，更具體地，本申請涉及用含溶劑溶液涂布基片表面的裝置。背景技術(shù)集成電路的制造包括將掩模上的幾何形狀轉(zhuǎn)移到半導(dǎo)體晶片的表面上。之后，蝕刻與幾何形狀相對應(yīng)或幾何形狀之間的區(qū)域相對應(yīng)的半導(dǎo)體晶片。幾何形狀從掩模到半導(dǎo)體晶片的轉(zhuǎn)移通常涉及平板印刷方法。該方法包括將光敏預(yù)聚合物溶液施用于半導(dǎo)體晶片。預(yù)聚合物溶液中的溶劑通過蒸發(fā)除去，然后烘烤形成的聚合物薄膜。膜通過支撐理想幾何圖案的光掩模而被輻射曝光，例如紫外光。然后通過將晶片浸泡在顯影液...
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