技術編號：2690712
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明屬于精密隔振，主要涉及一種二維柔性鉸鏈角度解耦與磁懸浮平面驅動定位的隔振器。背景技術隨著超精密加工與測量精度的不斷提高，環(huán)境振動成為制約超精密加工裝備與測量儀器精度和性能提高的重要因素。尤其是步進掃描光刻機為代表的超大規(guī)模集成電路加工裝備，技術密集度與復雜度極高，關鍵技術指標均達到了現(xiàn)有技術的極限，代表了超精密加工裝備的最高水平，超精密隔振成為此類裝備中的核心關鍵技術；步進掃描光刻機的線寬已達到22nm及以下，硅片定位精度與套刻精度均達到幾納米，而工...
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