技術(shù)編號：2690534
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。至少一個示例實施例涉及納米壓印平版印刷設(shè)備和/或納米壓印平版印刷方法。背景技術(shù)為了在半導體制造處理中處理襯底的表面以具有期望的圖案，使用各種平版印刷技術(shù)。傳統(tǒng)上，一般使用光刻，其中，使用光刻膠來涂敷襯底的表面，并且，通過使用光蝕刻光刻膠來形成圖案。然而，通過光刻形成的圖案的大小被光學衍射限制，并且圖案的分辨率與所使用的光線的波長成比例。因此，當半導體元件的集成密度增大時，需要曝光技術(shù)，其中，使用短波長的光來形成微觀圖案。當半導體元件的集成密度增大時，通過光...
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