技術編號:2690044
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及一種金屬光柵偏振器,特別涉及一種可調(diào)諧高消光比金屬光柵偏振器。背景技術偏振器件是光學器件中使用最早、應用最廣的器件之一。通常產(chǎn)生偏振光的器件有偏振棱鏡、介質(zhì)膜層結構、二向色性偏振片等。金屬光柵偏振器是一種新興的基于微納結構的偏振器件,較傳統(tǒng)的偏振器件具有體積小、片子薄、易集成、性能高等優(yōu)點,因此已廣泛應用于光纖通信、液晶顯示、光學投影、光電檢測等領域。其通常的制作方法是在基底表面鍍金屬薄膜,再鍍一層光刻膠作為掩膜版,使用電子束直寫的方式在光刻膠表...
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