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一種mems光學(xué)干涉平臺(tái)及組裝方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):2689339

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本發(fā)明屬于微機(jī)電系統(tǒng)領(lǐng)域,涉及一種MEMS光學(xué)干涉平臺(tái)及組裝方法。背景技術(shù)干涉儀的工作原理是從激光器發(fā)出的光束,經(jīng)擴(kuò)束準(zhǔn)直后由分光鏡分為兩路,并分別從固定反射鏡和可動(dòng)反射鏡反射回來,之后匯合在分光鏡上產(chǎn)生干涉條紋,并通過移動(dòng)可動(dòng)反射鏡來觀察干涉條紋的變化。激光干涉儀配合各種折射鏡及反射鏡可以用來測(cè)量線性位置、速度、角度、真平度、真直度、平行度和垂直度等,并可作為精密工具機(jī)或測(cè)量?jī)x器的校正工具。而干涉平臺(tái)是激光干涉儀的核心部件,傳統(tǒng)干涉平臺(tái)由固定反射鏡、可動(dòng)...
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