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灰色調(diào)掩模坯、灰色調(diào)掩模及制品加工標(biāo)識(shí)或制品信息標(biāo)識(shí)的形成方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):2689214

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本發(fā)明涉及成為用于半導(dǎo)體集成電路等制造等的光掩模(灰色調(diào)掩模)的原材料的光掩模還(灰色調(diào)掩模還(gray tone mask blank)),特別是成為作為FPD (平板顯示器)用合適的灰色調(diào)掩模的原材料的灰色調(diào)掩模坯及灰色調(diào)掩模,以及在灰色調(diào)掩模中形成的制品加工標(biāo)識(shí)或制品信息標(biāo)識(shí)的形成方法。背景技術(shù)近年來,在TFT液晶顯示裝置的制造中,為了簡(jiǎn)化制造工序而使用了灰色調(diào)掩模。通常的光掩模由透光部和遮光部構(gòu)成,透過掩模的曝光光的強(qiáng)度實(shí)際上是遮光和透光2個(gè)值,灰...
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