技術(shù)編號(hào):2689214
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及成為用于半導(dǎo)體集成電路等制造等的光掩模(灰色調(diào)掩模)的原材料的光掩模還(灰色調(diào)掩模還(gray tone mask blank)),特別是成為作為FPD (平板顯示器)用合適的灰色調(diào)掩模的原材料的灰色調(diào)掩模坯及灰色調(diào)掩模,以及在灰色調(diào)掩模中形成的制品加工標(biāo)識(shí)或制品信息標(biāo)識(shí)的形成方法。背景技術(shù)近年來,在TFT液晶顯示裝置的制造中,為了簡(jiǎn)化制造工序而使用了灰色調(diào)掩模。通常的光掩模由透光部和遮光部構(gòu)成,透過掩模的曝光光的強(qiáng)度實(shí)際上是遮光和透光2個(gè)值,灰...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。