技術(shù)編號(hào)：2688660
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及光刻機(jī)，特別是一種用于光刻機(jī)的楔板組的膠合方法和夾具，該楔板組膠合主要用于光衍射分離，該向成果直接影響到光刻機(jī)里的硅片向位光柵自動(dòng)對(duì)準(zhǔn)。背景技術(shù)目前歐美國(guó)家膠合(40到60) X (40到60) mm材料為肖特BK7 (加工完光圈為N=I，Δ N=0.3,中心區(qū)域見圖1所示N=0.2, Δ N=0.1 ;鍍膜后進(jìn)行膠合,膠合后光圈要求為N=I,Λ N=0.3)，中心區(qū)域膠合完成后可以到達(dá)N=0.2，Λ N=0.1的要求，膠層厚度控制在15 μ m...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。