技術(shù)編號：2686901
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及一種移動體驅(qū)動方法及移動體驅(qū)動系統(tǒng)、圖案形成方法及裝置、曝光方法及裝置、以及組件制造方法，更詳細地說，涉及沿著規(guī)定平面驅(qū)動移動體的移動體驅(qū)動方法及移動體驅(qū)動系統(tǒng)、利用該移動體驅(qū)動方法的圖案形成方法及具備該移動體驅(qū)動系統(tǒng)的圖案形成裝置、利用該移動體驅(qū)動方法的曝光方法及具備該移動體驅(qū)動系統(tǒng)的曝光裝 置、以及利用該圖案形成方法的組件制造方法。背景技術(shù)以往，在制造半導(dǎo)體組件、液晶表示組件等的微型組件(電子組件等)的光刻過程中，較常使用步進重復(fù)方式的縮小投...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。