技術(shù)編號：2686475
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明屬于光通信，尤其是用于含有十字交叉波導(dǎo)結(jié)構(gòu)的光器件中，像含有十字交叉波導(dǎo)結(jié)構(gòu)的微環(huán)諧振濾波器和微環(huán)諧振波分復(fù)用器等。背景技術(shù)硅基納米波導(dǎo)是制造集 成型光通信器件的重要材料之一，其波導(dǎo)芯區(qū)和包層的折射率差很大，因此有利于將光約束在芯區(qū)，波導(dǎo)的尺寸可以制作得很小，更適應(yīng)大規(guī)模集成光路高密度集成的要求。并且由于采用硅基波導(dǎo)，與目前標(biāo)準(zhǔn)的COMS工藝兼容。光波導(dǎo)是基本的光子互連器件。對于亞微米級別硅基納米波導(dǎo)，其傳輸損耗非常小，大約為I.7dB/cm，但是當(dāng)...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。