技術(shù)編號(hào)：2685709
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及激光光束波面整形，特別是一種用于實(shí)現(xiàn)高斯波前和不規(guī)則波前激光束在遠(yuǎn)場衍射光場的波前平頂化，即實(shí)現(xiàn)接近于平面波前分布的光場的陣列部分環(huán)帶光子篩勻光器及其制作方法。該種陣列部分環(huán)帶光子篩勻光器可用于光束整形、微電子無掩?？涛g和其它需要平面波前的各種光路中。背景技術(shù)通過各種途徑對(duì)于高斯波前和不規(guī)則波前激光束進(jìn)行勻光，使得光束變換成為接近于平面波前的光束是一個(gè)實(shí)用的課題，在各種光路中都有廣泛的應(yīng)用，比如在光束整形、微電子無掩?？涛g和其它需要平面波前的各種...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。