技術(shù)編號(hào)：2685635
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及可自動(dòng)攝影試樣上的任意的評(píng)價(jià)點(diǎn)的掃描型電子顯微鏡(ScanningElectron Microscope SEM)及其方法,具體說,涉及具有從電路設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)不使用實(shí)際晶片而且自動(dòng)決定為高圖像質(zhì)量、高精度觀察任意評(píng)價(jià)點(diǎn)的攝影方案的攝影方案自動(dòng)生成功能的SEM裝置及其方法。在所述攝影方案中登錄有尋址或者自動(dòng)聚焦或者自動(dòng)標(biāo)記或者自動(dòng)亮度 對(duì)比度用的攝影點(diǎn)的坐標(biāo)、(攝影區(qū)域的)尺寸 形狀、攝影順序、攝影位置變更方法、攝影條件等攝影參數(shù)以及評(píng)價(jià)點(diǎn)或者攝影點(diǎn)的...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。