技術(shù)編號(hào)：2685082
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種對(duì)電子束設(shè)備中束流運(yùn)動(dòng)控制偏轉(zhuǎn)放大器系統(tǒng)進(jìn)行的改進(jìn)，更特別地說，是指一種在電子束物理氣相沉積設(shè)備上應(yīng)用束流運(yùn)動(dòng)控制用直流與低頻交流信號(hào)組合放大裝置。背景技術(shù)電子束曝光系統(tǒng)是ー個(gè)集電子光學(xué)、精密機(jī)械、自動(dòng)控制、超高真空等技術(shù)為一體的高性能的復(fù)雜系統(tǒng)，它的受控制量類型多，控制范圍廣，精度要求高。因此，它要求控制計(jì) 算機(jī)具有存儲(chǔ)大量圖形數(shù)據(jù)、實(shí)時(shí)響應(yīng)、高可靠性、長時(shí)間連續(xù)穩(wěn)定工作、實(shí)現(xiàn)綜合控制的功能。顧文琪主編的《電子束曝光微納加工技木》ー書的“第...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。