技術(shù)編號：2685026
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明的領(lǐng)域涉及微機(jī)電系統(tǒng)(microelectromechanicalsystems, MEMS)。背景技術(shù)微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)包括微型機(jī)械元件、激活器和電子器件。微機(jī)電元件可使用沉積、蝕刻和/或?qū)⒁r底和/或經(jīng)沉積的材料層的部分蝕刻掉或添加層以形成電氣和機(jī)電裝置的其它微加工エ藝而制成。ー類MEMS裝置稱為干涉式調(diào)制器。如本文所使用，術(shù)語干渉式調(diào)制器或干渉式光調(diào)制器指使用光學(xué)干渉的原理來選擇性吸收和/或反射光的裝置。在某些實(shí)施例中，干涉式調(diào)制器可包含ー對...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。