技術(shù)編號(hào)：2682142
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及薄膜形成方法和薄膜形成裝置。背景技術(shù)一直以來，使用通過濺射使膜原料物質(zhì)附著在基板表面的薄膜形成裝置，在基板表面形成光學(xué)薄膜，制造干涉濾光片、例如防反射濾光片、半透鏡、各種帶通濾波片、二向色濾光片等光學(xué)制品(專利文獻(xiàn)I)?，F(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)專利文獻(xiàn) 專利文獻(xiàn)I 日本特開2001-133228號(hào)公報(bào)發(fā)明內(nèi)容發(fā)明要解決的問題在使用這種薄膜形成裝置而制造光學(xué)制品的現(xiàn)有方法中，經(jīng)過以下工序進(jìn)行。首先，進(jìn)行測(cè)試成膜。具體地說，將作為成膜對(duì)象的基板設(shè)置于真空容器(腔...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。