技術(shù)編號：2681793
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明大體上涉及圖案化工件上的光敏表面。更具體地，本發(fā)明涉及用于校準(zhǔn)用于通過光敏表面的圖案成像進(jìn)行圖案化的裝置的方法和設(shè)備。本發(fā)明的總體背景圖案生成的總體描述通常的做法是借助于圖案生成器(例如激光直接寫入器和掩模寫入器)來在工件上的光敏表面或?qū)由袭a(chǎn)生圖案。用于不同應(yīng)用的不同種類的圖案以這種方式產(chǎn)生，例如在以基片的形式的用于制造印刷電路板的工件上的圖案、在用于制造顯示器的工件上的圖案或在用于制造光掩模的工件上的圖案。在制造印刷電路板的實(shí)例中，產(chǎn)生電路圖案是為...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。