技術(shù)編號：2681403
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及曝光裝置用照光裝置及其亮燈控制方法、以及曝光裝置、曝光方法及基板，更詳細(xì)地說，涉及可應(yīng)用于將光罩的光罩圖案光刻到液晶顯示器以及等離子顯示器等大型扁平面板的基板上的曝光裝置的曝光裝置用照光裝置及其亮燈控制方法、以及曝光裝置、曝光方法及基板。背景技術(shù)以往，設(shè)計出了接近曝光裝置、掃描曝光裝置、投影曝光裝置、鏡面投影式曝光裝置、密閉式曝光裝置等各種各樣的曝光裝置，來作為制造平板顯示裝置的濾色板等面板的裝置。例如，在逐次移動式曝光裝置中，利用光罩工作臺來保...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。