技術(shù)編號(hào)：2680505
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種用來修正光掩模和液晶襯底上的圖形缺陷的激光加工方法，以及采用此方法的激光加工裝置。另外，按照國際專利申請(qǐng)No.1989-502149(PCT/US87/03488)的國家出版物的一種激光加工裝置，具有一個(gè)氣體外套，帶氣體出口和進(jìn)口，其形狀象一個(gè)圓環(huán)形同心狀。這種特征可以讓氣體局部噴到襯底上，可使氣體通斷，并且可以轉(zhuǎn)換氣體噴出和吸入的方向。因此，用一個(gè)裝置就可以既通過激光CVD(化學(xué)蒸汽淀積)形成圖形薄膜，又可以通過激光蒸發(fā)去掉圖形薄膜。但是，...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。