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脊波導(dǎo)耦合的y型分支器和由其構(gòu)成的1×n分支器的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:2678654

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本實用新型涉及一種集成光電子器件,特別是一種脊波導(dǎo)耦合的Y型分支器和由其構(gòu)成的IXN的分支器。背景技術(shù)以絕緣襯底上的硅SOI為基片的光波導(dǎo)和平面光集成回路PLC,可以幫助降低光芯片的成本,并實現(xiàn)多功能單片集成,而其中“Y型分支器”是光波導(dǎo)和PLC中一種運用廣泛的分流結(jié)構(gòu)。在基于SOI或其他高材料折射率對比的光波導(dǎo)和PLC中,光在行進(jìn)到分支結(jié)處時,光波會被忽然出現(xiàn)在前方的二氧化硅或其他低折射率材料散射,在分支結(jié)處產(chǎn)生較大的額外損耗。通用的以二氧化硅為基片的Y...
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