技術(shù)編號:2674142
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種廣泛用于光通信、光信息處理以及其它普通光學(xué)領(lǐng)域的背景技術(shù)光波導(dǎo)路安裝到光波導(dǎo)路裝置、光集成電路、光配線基板等光學(xué)裝置中,廣泛用于光通信、光信息處理以及其它普通光學(xué)的領(lǐng)域。通常,光波導(dǎo)路在下包層的上表面上以規(guī)定的突出圖案形成有作為光通路的芯,并以覆蓋該芯的方式形成有上包層。作為,例如,一次制作多個光波導(dǎo)路的情況,提出有下述的制造方法(例如,參照專利文獻(xiàn)I)。即,首先,如圖6的(a)所示,在基板A上形成一層下包層 11,該下包層11具有能夠形成多...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識儲備,不適合論文引用。