技術(shù)編號：2674111
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本公開一般涉及發(fā)光二極管(LED)的制作，尤其涉及為增加LED光發(fā)射效率而使用相移掩模的光刻系統(tǒng)和LED制作方法。背景技術(shù)LED被用于各種各樣的照明應用(如，全色顯示、燈、交通燈、節(jié)日燈等等)，且隨著 LED技術(shù)的改進和LED成本的下降，與日俱增地找到更多的應用。由于LED制作和LED設計的不斷改進，LED正在日益變得更有效。然而，對LED光發(fā)射效率的一般限制，是由于LED內(nèi)產(chǎn)生的光的全內(nèi)反射。例如，在氮化鎵(GaN)基的LED 中，η摻雜和ρ摻雜的GaN...
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