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曝光方法及曝光裝置的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:2673493

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本發(fā)明關(guān)于一種曝光方法及曝光裝置,特別是關(guān)于一面使光罩(mask)與基板以同步移動一面使光罩的圖案(pattern)曝光于基板的一種掃描式的曝光方法及曝光裝置。電子元件包含微影蝕刻工藝由各工藝處理在基板上使多個圖案以所定的位置關(guān)系重疊加以形成,基板會由工藝處理而變形的場合。例如,基板為液晶顯示元件用的玻璃基板的場合,會由各工藝處理的熱作用而變形,或者,在玻璃基板上形成金屬層時玻璃基板具有似如由金屬層所拉受在面方向的力的作用而變形的場合。由工藝處理而基板變形...
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