技術(shù)編號：2673480
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明主要涉及光刻術(shù)，更具體地，涉及支撐結(jié)構(gòu)和用于圖案形成裝置的布置。 背景技術(shù)光刻技術(shù)被廣泛認(rèn)為是制造集成電路(IC)以及其他器件和/或結(jié)構(gòu)的關(guān)鍵工藝。 光刻設(shè)備是一種在光刻過程中使用以將所需圖案應(yīng)用到襯底上，例如是到襯底的目標(biāo)部分上的機器。在使用光刻設(shè)備制造集成電路期間，通?？梢詫⒖蛇x地稱為掩?；蜓谀０娴膱D案形成裝置用于生成待形成在所述IC的單層上的電路圖案?？梢詫⒃搱D案轉(zhuǎn)移到襯底(例如，硅晶片)上的目標(biāo)部分(例如，包括一部分管芯、一個或多個管芯)上。...
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