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中心對稱連續(xù)微結(jié)構(gòu)衍射元件掩模的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:2672980

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本發(fā)明涉及連續(xù)衍射光學(xué)元件,具體地說是一種中心對稱連續(xù)微結(jié)構(gòu)衍 射元件掩模的制作方法。 背景技術(shù)衍射光學(xué)元件應(yīng)用于光學(xué)系統(tǒng)有利于減小系統(tǒng)體積、減輕重量、簡化光 學(xué)系統(tǒng)以及提高成像質(zhì)量,因此,衍射光學(xué)元件在光學(xué)領(lǐng)域有很好的應(yīng)用前 景;長期以來,國內(nèi)大部分研究單位只能進行二元光學(xué)元件制作,還不具備 連續(xù)衍射光學(xué)元件的制作技術(shù),由于制作方法不健全,制約了衍射光學(xué)元件 的普及應(yīng)用。隨著激光加工技術(shù)的發(fā)展,采用激光直寫技術(shù)制作連續(xù)衍射光 學(xué)元件成為可能。制作該類連續(xù)...
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