技術(shù)編號(hào):7063277
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶(hù)請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明公開(kāi)了一種激光刻槽埋柵電極太陽(yáng)能電池的制備方法,包括a)硅片堿制絨;b)淡磷擴(kuò)散形成N+層;c)生成熱氧化鈍化薄膜;d)激光開(kāi)槽,得到槽孔;e)對(duì)槽孔進(jìn)行刻蝕處理;f)對(duì)槽孔進(jìn)行清洗;g)濃磷擴(kuò)散形成N++層;h)背面蒸鍍鋁膜;i)背電場(chǎng)燒結(jié);j)化學(xué)鍍銀埋柵;k)制作背電極;l)正面蒸鍍雙層減反射層,雙層減反射層包括MgF2層和ZnS層;m)酸刻蝕去邊;n)高溫?zé)Y(jié),形成激光刻槽埋柵電極太陽(yáng)能電池。相應(yīng)的,本發(fā)明還提供一種由上述制備方法制得的激光刻...
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