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Tft基板及反射型tft基板以及其制造方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):2632118

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本發(fā)明涉及TFT基板及反射型TFT基板以及其制造方法。尤其是, 本發(fā)明的TFT基板及反射型TFT基板具備利用柵極絕緣膜及層間絕緣 膜絕緣的柵電極及柵極配線;作為在柵電極上形成的TFT (薄膜晶體管) 的活性層的n型氧化物半導(dǎo)體層;在溝道部上形成的由層間絕緣膜構(gòu)成的 溝道保護(hù)層;在層間絕緣膜的一對(duì)開(kāi)口部形成的漏電極及源電極。由此, 本發(fā)明的TFT基板及反射型TFT基板在長(zhǎng)時(shí)期內(nèi)穩(wěn)定地工作。此外,根 據(jù)本發(fā)明,能夠?qū)崿F(xiàn)消減制造工序而實(shí)現(xiàn)制造成本的下降,進(jìn)而,能...
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