技術(shù)編號：2582074
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及用于驅(qū)動例如干涉式調(diào)制器的機電裝置的方法及裝置。 背景技術(shù)機電系統(tǒng)包括具有電及機械元件、致動器、變換器、傳感器、光學(xué)組件(例如，鏡) 及電子裝置的裝置?？砂窗?但不限于)微尺度及納米尺度的各種各樣的尺度來制造機電系統(tǒng)。舉例來說，微機電系統(tǒng)(MEMS)裝置可包括大小在約一微米到數(shù)百微米或更大的范圍內(nèi)的結(jié)構(gòu)。納米機電系統(tǒng)(NEMS)裝置可包括大小小于一微米(包括(例如)大小小于數(shù)百納米)的結(jié)構(gòu)。可使用沉積、蝕刻、光刻及/或蝕刻掉襯底及/或沉積材料層...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。