技術(shù)編號：2527990
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及包括多晶硅薄膜晶體管的有源矩陣顯示器件及其制作。多晶硅(poly-Si)相對于非晶硅(a-Si)所具有的高載流子遷移率，使其成為一種引人注目的材料而用于諸如有源矩陣液晶顯示器(AMLCD)及有源矩陣聚合物L(fēng)ED顯示器(AMPLED)等大面積電子器件。通常來講，例如用于薄膜晶體管(TFT)的多晶硅膜采用固相結(jié)晶(SPC)來制作。這涉及在絕緣襯底上沉積非晶硅膜，通過使其長時間暴露在高溫下使非晶硅膜結(jié)晶，這個過程的溫度通常超過600℃，時間可長達(dá)24小...
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