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液體噴射裝置及其一體成型制造方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):2515637

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本發(fā)明提供一種,其中,方法包括在第一基底上形成多個(gè)間隔設(shè)置的壓力發(fā)生部件;在第一基底的第一表面上形成與多個(gè)壓力發(fā)生部件對(duì)應(yīng)的壓力腔室以及與多個(gè)壓力腔室連通的公共腔室;通過鍵合工藝在壓力腔室上成形有噴孔板以及通過光刻工藝在噴孔板上形成有與壓力腔室連通的噴孔。本發(fā)明提供的,是在第一基底的第一表面上形成壓力腔室和公共腔室,當(dāng)需要增加高液體噴射裝置的壓力腔室的數(shù)量時(shí),由于本實(shí)施例是在第一基底上單獨(dú)形成壓力腔室,因而不會(huì)減小第一基底的機(jī)械強(qiáng)度,在制造過程中可以避免第...
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