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一種磁定向母版的制造及檢測裝置制造方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:2515131

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本發(fā)明提供一種磁定向母版的制造及檢測裝置。該裝置包括控制機構(gòu)、傳動機構(gòu)以及以相互替換方式進行安裝的加工機構(gòu)和檢測機構(gòu),控制機構(gòu)用于接收運動指令,并根據(jù)運動指令控制傳動機構(gòu)傳動加工機構(gòu)與磁定向母版進行相對移動,以利用加工機構(gòu)在磁定向塊上加工出磁定向圖案,或者根據(jù)運動指令控制傳動機構(gòu)傳動檢測機構(gòu)與磁定向母版進行相對移動,以對磁定向塊上的磁定向圖案進行檢測。通過上述方式,本發(fā)明能夠使磁定向母版的制造和檢測共享同一裝置,簡化母版制程,自動化程度較高且節(jié)約生產(chǎn)成本。...
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