技術(shù)編號：2514048
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明提供了微流體裝置，其由材料層和在該材料層之中或其上形成的具有至少一個小于500μm的特征尺寸的流體輸送部件組成，所述材料層主要在耐化學(xué)性、熱穩(wěn)定性和生物相容性上有改善。耐化學(xué)性、熱穩(wěn)定性和生物相容性多層涂層提供在微流體裝置上并與之接觸，其中所述多層涂層包含主要由氧化鉿或氧化鋯構(gòu)成的一個或多個薄膜層和主要由氧化鉭構(gòu)成的一個或多個薄膜層，所述多層涂層位于流體輸送部件的表面上。本發(fā)明中使用的耐腐蝕性膜是特別有利的，因為其能夠使用產(chǎn)生覆蓋復(fù)雜幾何結(jié)構(gòu)的共形膜...
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該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。