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液滴噴出頭、轉(zhuǎn)換元件、壓電裝置、機(jī)電系統(tǒng)結(jié)構(gòu)、執(zhí)行機(jī)構(gòu)、壓電傳感器、壓電電動(dòng)機(jī)的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):2513329

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本發(fā)明涉及液滴噴出頭、肖^量轉(zhuǎn)換元件、壓電裝置、MEMS (Micro-electromechanical Systems,孩吏型才幾電系纟充)結(jié)構(gòu)、懸力#型 執(zhí)4亍才幾構(gòu)、壓電傳感器、以及壓電直線電動(dòng)才幾。背景技術(shù)為了實(shí)現(xiàn)從噴墨打印機(jī)輸出的打印物的高精細(xì)化及提高印刷 的速度,而不斷推進(jìn)實(shí)現(xiàn)提高液滴噴出頭的實(shí)裝密度的高密度。而 且,也研究將液滴噴出頭應(yīng)用于印刷以外的領(lǐng)域,希望實(shí)現(xiàn)液滴噴 出頭的高集成化。為提高液滴噴出頭的集成度,公開有例如,專利 文獻(xiàn)1及專...
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