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液滴噴頭、圖像形成裝置及成膜裝置的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:2503915

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本發(fā)明涉及液滴噴頭、圖像形成裝置及成膜裝置。背景技術(shù)隨著噴墨技術(shù)的工業(yè)應(yīng)用化的進展,例如為了形成更微細的布線等,要求能噴出更微小的液滴的液滴噴頭。為了實現(xiàn)所噴出的液滴的微小化,需要使用執(zhí)行機構(gòu),該執(zhí)行機構(gòu)可以用高頻信號驅(qū)動,且可以確保所需要的位移量(例如參照專利文獻I)。為了實現(xiàn)該愿望,利用例如壓電元件的d33方向的位移是有效的。在專利文獻I中,通過在單個電極與固定板的接合側(cè)部分設(shè)置切口部分而防止固定板側(cè)的短路,但在使用具有導(dǎo)電性的振動板時,在振動板側(cè)會產(chǎn)...
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