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壓電元件及其制造方法、壓電致動器、液體噴射頭的制作方法技術資料下載

技術編號:2490654

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本發(fā)明涉及壓電元件及其制造方法、壓電致動器、液體噴射頭以及液體噴射裝置。 背景技術眾所周知,在能夠用于例如圖像記錄裝置和顯示器制造裝置等中的噴墨式打印機等液體噴射裝置的液體噴射頭或各種壓電致動器中,都使用壓電元件。壓電元件可以通過以下方法得到例如,通過在下部電極上形成壓電體層,以覆蓋壓電體層的方式形成上部電極。其中,眾所周知有,例如,以含有鎳酸鑭的方式,形成與構成下部電極的導電層的壓電體層相接的最上層,控制壓電體層的取向度,由此,能夠提高壓電體層的壓電特性...
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