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導(dǎo)體圖案的形成方法、布線(xiàn)基板以及液滴排出裝置的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):2490199

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本發(fā)明涉及導(dǎo)體圖案的形成方法、布線(xiàn)基板以及液滴排出裝置。 背景技術(shù)在制造電子電路或集成電路等所使用的布線(xiàn)時(shí),使用例如光刻法。該光刻法,通過(guò)在預(yù)先涂敷有導(dǎo)電膜的基板上涂敷被稱(chēng)為抗蝕劑的感光材料,對(duì)電路圖案進(jìn)行照射而顯影,與抗蝕劑圖案相應(yīng)地對(duì)導(dǎo)電膜進(jìn)行蝕刻,來(lái)形成包括導(dǎo)體圖案的布線(xiàn)。該光刻法,需要真空裝置等大型設(shè)備和復(fù)雜的工序,另外材料使用率也只百分之幾左右,不得以廢棄了大部分的材料,制造成本高。對(duì)此,提出了使用從液體排出頭將液體材料排出為液滴狀的液滴排出法、...
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