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致動器的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:2486050

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致動器背景技術(shù)壓電致動的噴墨打印頭用在非常大幅面的噴墨打印應用中,例如,大型標志圖樣的工業(yè)打印市場。然而,使用傳統(tǒng)的半導體晶片制造技術(shù)卻難以加工壓電材料。在傳統(tǒng)的 壓電致動器制造過程中,使用鋸來圖案化材料,以進行后續(xù)蝕刻。有時使用的鋸很長,且壓 電特征的尺寸還受到鋸加工工具的限制。附圖說明 圖1是示出了噴墨打印機的一個實施例的框圖。 圖2是一個透視圖,其中示出了可以用在圖1中所示的打印機的打印頭陣列中的 噴墨打印頭的一個實施例。 圖3是圖2的打印頭的俯視...
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