技術編號：2483954
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及、液滴噴出頭、具有該'液滴噴出頭的液滴噴出裝置等。背景技術例如加工硅等形成微小的元件等的樣義細加工才支術(MEMS Micro Electro Mechanical Systems )正'l"夬速進步。作為矛J用孩吏細力口工 技術形成的微細力口工元件的例子，例如能舉出液滴噴出方式的印刷 機這樣的記錄(印刷)裝置中使用的液滴噴出頭(噴墨頭)、微型 泵、光可變過濾器、電機等靜電致動器、壓力傳感器等。液滴噴出方式(具有代表性的是噴出墨進行印刷等的噴墨...
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