技術(shù)編號:2480331
提示:您尚未登錄,請點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種,尤其涉及一種具表面平整的鈍化層的。背景技術(shù)目前流體噴射裝置大多應(yīng)用于噴墨頭、燃料噴射器等組件上,其中噴墨頭更是大量的使用熱致氣泡式設(shè)計(jì)。圖1顯示一種公知美國專利No.6102530的單片流體噴射裝置1,其以一硅襯底10作為本體,且在硅襯底10上形成一結(jié)構(gòu)層12,而在硅襯底10和結(jié)構(gòu)層12的間形成一流體腔14,用以容納流體26;而在結(jié)構(gòu)層12上設(shè)有一第一加熱器20、以及一第二加熱器22,第一加熱器20用以在流體腔14內(nèi)產(chǎn)生一第一氣泡30,第二...
注意:該技術(shù)已申請專利,請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識儲備,不適合論文引用。