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液體排出頭用基板、液體排出頭和其制造方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:2478703

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本發(fā)明涉及一種從排出口排出墨水等液體形成液滴的液體排出頭用基板、使用該液體排出頭用基板的液體排出頭和其制造方法。背景技術(shù)過去,作為噴墨頭的主要部分的記錄元件基板如圖18所示那樣,作為記錄元件基板501在基板502上由成膜技術(shù)形成電配線和構(gòu)成充填有墨水的液室的構(gòu)件523等而構(gòu)成。作為基板502,例如使用厚0.5~1mm的Si基板。在基板502開設(shè)有用于從外部將液體接受到液室內(nèi)的、由長槽狀的貫通口構(gòu)成的多個墨水供給口503。在基板502上的位于各墨水供給口50...
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