技術(shù)編號(hào):2478244
提示:您尚未登錄,請點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種半導(dǎo)體裝置,特別是涉及一種。背景技術(shù)目前,流體噴射技術(shù)已廣泛應(yīng)用于各種科技領(lǐng)域的中,例如打印機(jī)噴墨頭、燃油噴射裝置或是生物醫(yī)學(xué)系統(tǒng)如藥劑注射機(jī)制等的科技產(chǎn)品。公知的流體噴射裝置可參見圖1加以說明。圖1是顯示美國專利第6,102,530號(hào)所揭示的流體噴射裝置,此流體噴射裝置包括一硅基材38、一歧管26,以輸送流體、流體腔14,設(shè)于歧管26的一側(cè),用以容納該流體、噴孔18,設(shè)于流體腔14的表面,用以供該流體噴出、以及噴射組件20、22,設(shè)于噴孔1...
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