技術(shù)編號：2477914
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種薄膜形成裝置，特別涉及實現(xiàn)薄膜的質(zhì)量的提高及生產(chǎn)率的提高的薄膜形成裝置。背景技術(shù)一般來說，液晶裝置是利用如下的方法制成，即，在具有在一對基板間封入了液晶的構(gòu)造的液晶顯示面板上，附加設(shè)置背光燈等照明裝置或液晶驅(qū)動用IC等附加機(jī)器。另外，如圖20所示液晶顯示面板一般利用如下的方法制成，利用密封部2使形成了第1電極的第1基板1和形成了第2電極的第2基板4相互貼合在一起，在形成于這些基板1、4間的空隙即盒間隙(cell gap)內(nèi)，封入液晶3。而且，...
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